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尘埃粒子计数器检测空气洁净度等级简介

尘埃粒子计数器检测空气洁净度等级简介

空气洁净度等级的检测应在设计指定的占用状态(空态、静态、动态)下进行。

检测仪器的选用:应使用采样速率大于1L/min的光学粒子计算器,【尘埃粒子计数器,激光尘埃粒子计数器,激光粒度仪,激光颗粒计数器】在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力,粒子浓度适用范围和计数效率。仪表应有有效的标定合格证书。

采样点的规定:

低限度的采样点数NL

低限度的采样点数NL

测点数NL

2

3

4

5

6

7

8

9

10

洁净区面

A(m2)

2.1

6.0

6.1

12.0

12.1

20.0

20.1

30.0

30.1

42.0

42.1

56.0

56.1

72.0

72.1

90.0

90.1

110.0

注:在水平单向流时,面积A为与气流方向呈现垂直的活动空气截面的面积。

低限度的采样点数NL=A0.5计算(四舍五进取整数)

采样点应均匀分布于整面积内,并位于工作区的高度(距地坪0.8m的水平面),或设计单位、业主特指的位置。

 

采样量的确定:

每次采样的少采样量见表

每次采样的少采样量Vs(L)

洁净度

等级

粒径(μm)

0.1

0.2

0.3

0.5

1.0

5.0

1

2000

8400

2

200

840

1960

5680

3

20

84

196

568

2400

4

2

8

20

57

240

5

2

2

2

6

24

680

6

2

2

2

2

2

68

7

2

2

7

8

2

2

2

9

2

2

2

每个采样点少采样时间为1min,采样量少为2L

每个洁净室()少采样次数为3次。当洁净区仅有个采样点时,则在该点少采样3次;

对预期空气洁净度等级达到4级或更洁净的环境,采样量很大,可采用ISO14644—1附录F规定的顺序采样法。

检测采样的规定:

采样时采样口处的气流速度,应尽可能接近室内设计气流速度;

对单向流洁净室,其粒子计数器的采样管口应迎着气流方向;对于非单向流洁净室,采样管口宜向上;

采样管必须干净,连接处不得有渗漏。采样管的长度应根据答应长度确定,假如无规定时,不宜大于1.5m;室内的测定职员必须穿洁净工作服,且不宜超过3名,并应阔别或位于采样点的下风侧静止不动或微动。

记录数据评价。空气洁净度测试中,当全室()测点为29点时,必须计算每个采样点的均匀粒子浓度Ci值、全部采样点的均匀粒子深度N及其标准差,导出95%置信上限值;采样点超过9点时,可采用算术均匀值N作为置信上限值。

每个采样点的均匀粒子浓度Ci应小于或即是洁净度等级规定的限值见表。

 

洁净度等级及悬浮粒子浓度限值

洁净度等级

大于或即是表中粒径D的大浓度Cn(Pc/m3)

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1.0μm

5.0μm

1

10

2

 

2

100

24

10

4

3

1000

237

102

35

8

4

10000

2370

1020

352

83

5

100000

23700

10200

3520

832

29

6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7

352000

83200

2930

8

3520000

832000

29300

9

35200000

8320000

293000

注:

本表仅表示了整数值的洁净度等级(N)悬浮粒子大浓度的限值。

对于非整数洁净度等级,其对应于粒子粒径D(μm)的大浓度限值(Cn),应按下列公式计算求取。

洁净度等级的粒径范围为0.55.0μm,用于定级的粒径数不应大于3个,且其粒径的顺序级差不应小于1.5倍。

其他相关测量仪器:铁素体测试仪SP10a

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