洁净厂房车间尘埃粒子检测对照表主要针对无尘车间多点测量，厂房面积和要求的洁净度对应着采样点数的分布如下：
采样点应均匀分布与洁净室（区）的整个面积内，并位于工作区的高度（离地面0.8m）
面积 （m2） | 洁净度 |
≥100级 | 1000级 | 10000级 | 100000级 |
＜10 | 2～3 | 2 | 2 | 2 |
≥10～＜20 | 4 | 3 | 2 | 2 |
≥20～＜40 | 8 | 6 | 2 | 2 |
≥40～＜100 | 16 | 13 | 4 | 2 |
≥100～＜200 | 40 | 32 | 10 | 3 |
≥200～＜400 | 80 | 63 | 20 | 6 |
≥400～＜1000 | 160 | 126 | 40 | 13 |
≥1000～＜2000 | 400 | 316 | 100 | 32 |
2000 | 800 | 633 | 200 | 63 |