潔凈廠房車間塵埃粒子檢測對照表主要針對無塵車間多點測量，廠房面積和要求的潔凈度對應著采樣點數的分布如下：
采樣點應均勻分布與潔凈室（區）的整個面積內，并位于工作區的高度（離地面0.8m）
面積 （m2） | 潔凈度 |
≥100級 | 1000級 | 10000級 | 100000級 |
＜10 | 2～3 | 2 | 2 | 2 |
≥10～＜20 | 4 | 3 | 2 | 2 |
≥20～＜40 | 8 | 6 | 2 | 2 |
≥40～＜100 | 16 | 13 | 4 | 2 |
≥100～＜200 | 40 | 32 | 10 | 3 |
≥200～＜400 | 80 | 63 | 20 | 6 |
≥400～＜1000 | 160 | 126 | 40 | 13 |
≥1000～＜2000 | 400 | 316 | 100 | 32 |
2000 | 800 | 633 | 200 | 63 |