菲希尔x射线荧光镀层厚度及ROSH检测仪

FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-SDD特点：

配备了高性能的X射线管和大窗口的硅漂移探测器（SDD），能高精度地测量zui薄的镀层

极耐用的设计结构，能以极出色的长期稳定性用于连续测量

可编程XY平台和Z轴，用于自动化连续测量

拥有实时的视频显示和辅助激光点，使得样品定位变得快速而简便

FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-SDD应用：

1、镀层厚度测量

测量极薄镀层，如电子和半导体产业中厚度小于0.1um的Au和Pd镀层

测量汽车制造业中的硬质涂层

光伏产业中的镀层厚度测量

2、材料分析

电子、包装和消费品中按照RoHS, WEEE, CPSIA等指令对有害物质（如重金属）进行鉴别

分析和其他贵金属及其合金

测定功能性镀层的组分，如NiP镀层中的P含量

菲希尔x射线荧光镀层厚度及ROSH检测仪/X-RAY射线光谱测厚仪/X射线分析仪FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-SDD典型的应用领域有：

•  分析超薄镀层， 如：厚度≤ 0.1 µm 的 Au 和 Pd 镀层

•  印刷线路板上 RoHS 及 WEEE 要求的痕量分析

•  成分分析

•  测量电子工业或半导体工业中的功能性镀层

•  分析复杂的多镀层系统

•  全自动测量，如：用于质量控制领域

为了使每次测量都能在zui理想的条件下进行， XDV-SDD 配备了各种可电动切换的准直器及基本滤片。的硅漂移接收器能够提供很高的分析精度及探测灵敏度。由于有了大尺寸的准直器以及超高速脉冲处理器，仪器能处理非常高的计数率。

出色的准确性及长期的稳定性是 FISCHER X 射线仪器的共有特点，因此也大大减少了重新校准仪器的需要，为您节省时间和精力。由于采用了 FISCHER 的完全基本参数法，无论是镀层系统还是固体和液体样品，都能在没有标准片的情况下进行准确分析和测量。

菲希尔x射线荧光镀层厚度及ROSH检测仪/X-RAY射线光谱测厚仪/X射线分析仪FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-SDD设计理念

XDV-SDD 设计为界面友好的台式测量仪器。它配备了高精度、可编程运行的X/Y 轴工作台和马达驱动的 Z 轴升降台。当具有防护功能的测量门开启时，样品台能自动移出到放置样品的位置。通过激光点，可以快速对准需要测量的位置。仪器内置带有图像放大及十字线功能的视频系统，简化了样品放置的过程，并可对测量点位置进行精-确微调。所有的仪器操作，以及测量数据的计算和测量数据报表的清晰显示，都可以

通过功能强大而界面友好的 WinFTM ® 软件在电脑上完成。

FISCHERSCOPE ®  X-RAY XDV-SDD 型镀层测厚及材料分析仪作为受完全保护的仪器，型式许可完全符合德国‘‘Deutsche Röntgenverordnung-RöV‘‘法规的规定。

菲希尔x射线荧光镀层厚度及ROSH检测仪/X-RAY射线光谱测厚仪/X射线分析仪FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-SDD通用规范

1、用途：能量色散型 X 射线镀层测厚及材料分析仪 (EDXRF) ，用来测量超薄镀层、微小结构，合金元素的痕量分析。

2、可测量元素范围：zui多可同时测定从铝（13）到铀（92）中的 24 种元素

形式设计：测量门向上开启的台式仪器，侧面开槽设计；马达驱动、可编程运行的 X/Y 轴工作和Z轴升降台；马达驱动、可切换的准直器和基本滤片；视频摄像头和激光点（1 级），用于样品定位

3、测量方向：从上往下

菲希尔x射线荧光镀层厚度及ROSH检测仪/X-RAY射线光谱测厚仪/X射线分析仪FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-SDD其他规格参数：

1、X射线源

X 射线源：带铍窗口的微聚焦钨管

高压分三档：10 kV，30 kV，50 kV

孔径（准直器）：标准（524-166）：Ø 0.2 mm； Ø 0.6 mm；Ø 1 mm；Ø 3 mm

可选（604-971）：Ø 0.2 mm； 0.15X0.5 mm；0.05X0.3 mm；Ø 1 mm

可选（604-972）：Ø 0.1 mm； Ø 0.3 mm；Ø 1 mm；Ø 3 mm

基本滤片 ：6 个可切换的基本滤片（镍；无；铝 1000 µm；铝 500 µm；铝 100µm；密拉 ® 100µm）

测量点尺寸 ：取决于测量距离和孔径大小，测量点尺寸约比孔径大 10%，实际的测量区域大小与视频窗口中显示的相一致，zui小的测量点大小约为 Ø 0.25 mm。

2、X射线的探测

射线接收器：采用珀耳帖法冷却的硅漂移接收器

能量分辨率：≤140 eV (Mn 元素 Kα 线的半高宽)

测量距离：0 ~ 80 mm，使用专-利保护的 DCM 测量距离补偿法

3、样品定位

视频系统：高分辨 CCD 彩色摄像头，沿着初级 X 射线光束方向观察测量位置；十字线（带有经过校准的刻度和测量点尺寸），可调节亮度的 LED 照明；激光点（1 级）用于精-确定位样品。

放大倍数：40x ---- 160x

聚焦：自动或手动聚焦功能

手动聚焦焦面范围：0 ~ 80 mm

4、工作台

形式设计：快速、可编程运行的 X/Y 轴工作台（舌状进样功能）

可用样品放置面积 ：宽 x 深： 370 mm x 320 mm

样品zui大重量 ：5 kg，如降低精度可达 20kg

样品zui大高度 ：140 mm

zui大移动距离 ：X/Y 轴方向：250 mm x 250 mm；Z 轴：140 mm

X/Y 轴平台zui快移动速度 ：60 mm/s

X/Y 轴平台移动重复精度 ：单向zui大误差≤ 5 µm；一般误差≤ 2 µm

5、电气参数

电源要求 ：交流 220 V 50 Hz

能耗 ：zui大为 120 W（不含计算机）

保护等级 ：IP40

6、尺寸规格

外部尺寸：宽 x 深 x 高[mm]：660 x 835 x 720

重量 ：大约为 140 kg

内部测量室尺寸 ：宽 x 深 x 高[mm]：580 x 560 x 145

7、环境要求

使用时温度：10 °C ---- 40 °C

存储或运输时温度 ：0 °C ---- 50 °C

空气相对湿度 ：≤ 95 %，无结露

8、计算单元

计算机：Windows®-PC

软件：标准：FISCHER WinFTM ®  BASIC 带有 PDM ®  功能

可选：FISCHER WinFTM ®  SUPER

9、执行标准

CE 合格标准：EN 61010

X 射线标准：DIN ISO 3497 和 ASTM B 568

批准 ：作为受完全保护的仪器，符合德国’’Deutsche Röntgenverordnung-RöV‘‘法令的规定

10、订货号

FISCHERSCOPE X-RAY XDV-SDD  604-447

可按要求，提供额外的 XDV 型产品更改和 XDV仪器技术咨询

其他测试仪器：超声高温耦合剂、铁素体测试仪。